Схема контроля гармоник печи монокристаллического кремния

Печь для монокристаллов представляет собой тип оборудования, в котором используется нагреватель из высокочистого графита для плавления поликристаллического сырья, такого как фотогальванические элементы, в среде инертных газов, а также используется метод Чохральского для выращивания монокристалла без дислокаций.Обычно используются монокристаллические печи.Многие продукты, такие как монокристаллический кремний, монокристаллический германий и монокристаллический арсенид галлия, являются важным сырьем для электронной промышленности и других высокотехнологичных отраслей.С непрерывным ростом экономического развития моей страны применение монокристаллических печей будет становиться все более и более широким.

изображение

 

Являясь одной из важных ветвей промышленных печей, монокристаллические печи потребляют много энергии.Высокие затраты на электроэнергию и сильное гармоническое загрязнение приводят к ухудшению качества продукции, что стало серьезной проблемой для многих пользователей монокристаллических печей.В ответ на насущные требования защиты окружающей среды и энергосбережения многих клиентов поликремниевых печей во всем мире многие производители предприняли много благоприятных усилий и попыток.Многие люди пытаются защитить систему от переходных процессов, выбросов и продуктов подавления гармоник для выполнения проектов технологического преобразования системы печи поликремния, но фактическое применение показывает, что частоты гармоник печи поликремния в основном составляют 5-ю, 7-ю и 11-ю гармоники (5). Максимальное содержание воды субгармоники превышает 45%, 7-й гармоники 20%, 11-й гармоники 11%, общий коэффициент потери кадров превышает 49,43%, минимальный коэффициент мощности составляет всего 0,4570, а максимальный коэффициент мощности составляет всего 0,6464. ).Следовательно, нельзя игнорировать метод управления импульсным током этих устройств, а эффект энергосбережения неудовлетворителен.Что более серьезно, так это то, что энергия импульсного тока значительно превышает диапазон нагрузки электрического оборудования, и его легко повредить после длительного использования.Высокая частота несчастных случаев влияет на нормальную работу производства компании, что приводит к растрате ресурсов и разочарованию клиентов.
Комплект аппаратуры компенсации фильтров, разработанный мной для этого типа оборудования, может эффективно решить вышеуказанные проблемы (два метода: если для превышения нормы требуется как контроль гармоник, так и компенсация реактивной мощности, мы используем контур регулирования гармоник + контур регулирования реактивной мощности; нормальная работа требует только компенсации реактивной мощности, а коэффициент мощности превышает спецификацию.Мы используем схему компенсации реактивной мощности с подавлением гармоник).Он может не только контролировать гармоники, но и компенсировать реактивные нагрузки.Это может полностью устранить гармоническое загрязнение окружающей среды и улучшить коэффициент мощности.Значительные экономические выгоды.Операционные расходы обычно могут быть возмещены в течение 3-5 месяцев.

Главная особенность:

1. Для клиентского системного программного обеспечения* четкие характеристические гармоники, такие как: 5-я, 7-я, 11-я, 13-я и т. д. Эффект фильтрации очевиден.
2. Гармониками можно управлять, компенсация неэффективна
3. После того, как фильтрующее устройство введено в эксплуатацию, оно может значительно улучшить качество электроэнергии, улучшить влияние тока, вызванное ударной нагрузкой, уменьшить колебания напряжения, подавить мерцание напряжения, повысить надежность напряжения и улучшить качество напряжения.Коэффициент мощности может быть увеличен до более чем 0,96, а снижение потерь в пользовательской линии может улучшить несущую способность распределительного трансформатора, а экономические выгоды очевидны.
4. Высокопроизводительные вакуумные переключатели используются для переключения каждого контура фильтра.Система автоматического управления детализирована, а функции обслуживания совершенны, такие как защита от перегрузки по току, защита от перенапряжения, защита от перегрузки по току и т. Д. Фактическая работа надежна и проста в эксплуатации.

Преимущества гармоничного управления:

1. После установки оборудования для управления импульсным током гармонический ток может быть значительно снижен, разумный объем трансформатора может быть увеличен, соответствующая пропускная способность кабеля также увеличена, а проектные инвестиции, необходимые для расширения, уменьшены.
2. После установки оборудования управления импульсным током потери трансформатора могут быть эффективно уменьшены, индекс безопасной работы трансформатора может быть улучшен, а цель энергосбережения и сокращения выбросов может быть достигнута.

Решения на выбор:

план 1
Для централизованного управления (подходит для нескольких печей, которые используют один трансформатор и работают одновременно, распределительная комната оснащена фильтрующим компенсационным устройством)
1. Используйте ветвь контроля гармоник (фильтр 5, 7, 11) + ветвь регулирования реактивной мощности.После того, как устройство компенсации фильтра введено в эксплуатацию, контроль гармоник и компенсация реактивной мощности системы электроснабжения соответствуют требованиям.
2. Принять активный фильтр (удалить порядок динамических гармоник) и ответвленную цепь противодействия гармоникам (фильтр порядка 5, 7, 11) # + неверная регулировка ответвленной цепи, и после обеспечения оборудования для компенсации фильтра выдвинуть запрос на недействительную компенсацию система электропитания.
3. Используйте недопустимые компенсационные устройства (5,5%, 6% реакторы) для подавления гармоник, а после установки фильтрующих компенсационных устройств потребуйте от системы электропитания выполнения недопустимой компенсации.
Сценарий 2
Управление на месте (установите панель компенсации фильтра рядом с панелью питания печи монокристаллического кремния)
1. Применяется ветвь управления гармониками (фильтрация 5, 7, 11), и реактивная мощность гармоник достигает стандарта после ввода.
2. Выберите защитный дроссель и фильтр двухконтурного источника питания (5-й и 7-й фильтры), чтобы избежать взаимного влияния, а импульсный ток после подключения не превышал спецификации.


Время публикации: 13 апреля 2023 г.